- 选题背景和意义：
MEMS，即微型电子机械系统（Micro-Electro Mechanical System），是指采用微电子和微加工技术将微传感器、微执行器及微结构集于一体的微型器或系统。相对于传统机械，MEMS 传感器主要优势体现在：一是体积小，微型化程度高，尺度最大不超过一厘米，甚至仅仅为几微米，其厚度就更小；二是易于集成和实现智能化；三是采用以硅为主的材料，电气性能、强度、硬度和杨氏模量性能优良；四是采用与集成电路类似的生成技术，可大批量生产，成本低，使性价比大大提高。
MEMS技术最常用的领域便是微型传感器器件，这也是世界各科研机构及高校院所大力钻研的方面。现在已经形成产业化和正在投入大量资金人力研究的微型传感器有：压力、湿度、温度、加速度、角速度、微陀螺、磁场、流量、质量、PH值、电量等深入生活各个方面的应用领域。而自然界存在一些具有优异传感器特性的生物生理结构，这为工程师提供了丰富的灵感来源。生物学家发现，鱼类、昆虫、两栖动物和哺乳动物等各种动物都拥有生物毛细胞，其具有多样化的传感能力。生物利用毛细胞进行角度、加速度、振动和流量等物理量的检测。
仿生毛发传感器无疑是传感器领域的一颗新星，根据传感原理，现有的几种毛发传感器可以分为电容式，压电压阻式，光学式和谐振式等，其功能与控制电路也各有差异。毛发传感器结构简单，又有大表面积和大纵横比。这里研究的对象是谐振式毛发传感器，主要用来测量空气流速。与传统的机械式和热式流量传感器相比，毛发传感器体积较小、流量的测量范围较宽，而且限制较小。同时，毛发的大阵列排布又能增加灵敏度，并提高系统的鲁棒性。
本课题正是在此基础上，完成一个对仿生毛发谐振式流速传感器驱动控制系统的设计和仿真。
- 课题关键问题及难点：
详细收集国内外仿生毛发传感器驱动控制系统的最新资料，对资料进行认真阅读，理解，分析，弄清仿生毛发传感器驱动控制系统的原理。学习并掌握仿生毛发传感器驱动控制设计和Matlab仿真等软件的基本使用方法。在此基础上，提出仿生毛发传感器驱动控制系统的具体方案，并通过方案设计和Matlab仿真完成对生毛发传感器驱动控制系统的设计和仿真，并对数据进行处理和分析。
毛发传感器驱动控制系统的设计和仿真中的关键问题及难点以下：
关键问题：
1.毛发传感器动力学模型的理解；
2.相位、幅度双闭环数字控制电路的参数和结构设计。
难点：
