文献综述
题目：具有内部通道的微传感器的ANSYS仿真分析
摘要：MEMS，全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，由微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理、控制电路、接口、通信和电源等构成的微型器件或系统。这种小体积、低成本、集成化、智能化传感系统是未来传感器的发展方向，而传感器正是物联网最底层的数据采集入口。具有内部通道的微传感器是基于MEMS技术发展起来的为精确测量提供广泛应用的科研项目。其传感机理取决于微结构对特定外激励的敏感性和其自身动力学响应的独特性，相对简单的几何结构使其在设计和加工方面有着较大优势，在平均残余应力测量、杨氏模量测定、显微镜、安装表面健康监测系统、质量流传感器乃至分子生物或DNA分析等诸多方面应用广泛。与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。
其主要有以下特色：
1.高性能模拟温补技术使全硅MEMS振荡器具有优秀的全温频率稳定性，彻底解除温飘问题；
2.可编程的平台为系统设计和缩短新产品开发周期提供必要的灵活性；
3.完善的半导体生产链可让全硅MEMS供货期全面缩短，并提升需求应急的能力。
全硅MEMS振荡器的全温性能优势：
频率稳定性，特别是在不同温度下的稳定性，是电子工程师在选择振荡器时考虑的主要参数之一。因为每一个设计，都需要保证系统在整个工作温度范围内正常运作。而温飘(频率随温度而显著变化的现象)则是传统石英产品的弱点，难以单纯从制造上克服。
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